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Un microsystème électromécanique est un microsystème comprenant un ou plusieurs éléments mécaniques, utilisant l'électricité comme source d'énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur et/ou d'actionneur avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques, et que la fonction du système est en partie assurée par la forme de cette structure. On trouve aussi le terme de système micro-électro-mécanique mais le terme le plus souvent employé est l'anglais MEMS (Micro Electro Mechanical Systems).
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